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第117章 5nm都可以一试（第2页）

何兴也是直接了当的说道：“根据我的计算，这样的方案，应该是改造了光源系统，也就是升级了光学临近效应引起的图像偏差校正算法。”

郭一点了点头，接着说道：“如你们所见，这半个月，我带领团队升级了这款光刻机的控制系统，其中最重要的一点，就是何工刚才说的光源系统的升级。”

“啊！”几乎所有的人都有些不可思议的叫出了声。

升级光源系统？

这不属于生产工艺改进的范畴。

这是属于对光刻机本身的改进啊。

大部分的人直到这个时候才明白之前自己所做的工作的意义，才明白为什么产线改造的方案为什么是这个样子的。

看到一群人如梦初醒的样子，郭一也是说道：

“新的手册已经发到你们手中了，这两天你们熟悉一下，之后我们就将正式开始7n制程工艺芯片的第一次试制。”

所有人都急忙翻开手册，看着其中的所有改进的地方。

常凯和何兴也不例外，只不过，他们来跟其他人不一样，他们俩早就对整个流程有了明确的预计了，此时也只不过是确认一番。

他们直接就找到了关键点，果然，其中最重要的部分就是对光源校正的改进。

“常工，这修正算法的改进，比我计算中的数值还要更加精确，我甚至觉得，别说7n了，就连5n都可以一试！”何兴看着常凯说道。

“仅从算法来看，5n是没问题。”常凯说着，紧接着摇了摇头：“但这超出13n光源光刻的理论极限了。”

“常工，我觉得并非如此。”何兴说道：

“之前我们所言的理论极限，是基于之前的理论，郭工的理论不可以常理度之。

你看这儿，还有这儿，再加上这儿，这三处，好像延差都大了，但结合在一起，仅从数据上看，你看是多少，我刚算了，竟然是0。

你可知道，0意味着什么？即便加上实际操作中根本不可能避免的系统误差，这性能，也优化的太多了吧？”

“你等下，我看看。”这一看不打紧，常凯也直接被惊呆了。

校正算法在一定程度上可以提高精准度，只不过往常使用的算法都是补偿算法，而补偿算法本身肯定是要失去一定的精准度的。

就像一张老旧的照片，像素较低，利用算法补偿去修复，想修复的跟原本一模一样，那本身就是一件不可能的事儿。

但现在，经过一系列的操作，经过计算出来的数字竟然是100。

“这是怎么做到的？”常凯和何兴没办法看到郭一的校正算法，但仅从这材料中的数据，他们竟然得出了这样一个不可思议的结论。

“只有一种可能，那就是这根本就不是一个补偿算法。”何兴说道：“绝对是郭工独创的一种印证算法，补偿算法是不可能做到百分之百的补偿的！”

……

其他人还在惊呼：哇，竟然是光源系统的改进时候，常凯和何兴已经把其中最关键的东西摸透了。

甚至由此推算出了郭一的算法不是补偿算法，而是印证算法。但怎么一个印证呢，他们俩不知道，但绝对是印证，是没错的。

所有人的反应郭一也都看在眼里，尤其是常凯和何兴的反应。

这一看就知道，这俩人早就猜出、或者说是算出了他的方案之核心，再看看俩人现在的状态，这绝对不是简单的人呐。

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